扩散炉主要技术指标
1、工艺说明
1.1氧化干氧工艺湿氧工艺去离子水、氢氧合成-内/外点火
1.2扩散硼扩、磷扩液态源、固态源等
1.3合金、退火等工艺
2、系统组成主机加热体、石英/SiC管、功率组件等)、自动送片悬臂-SiC净化工作
台、气路气源系统气源柜、计算机控系统等组成
3、控制方式手动送片/自动送片
4、扩散炉配置可选
4.1仪表控制/计算机控制
4.2工艺管水平结构1-4管
4.3工艺规格2~6英寸晶圆或125mm×125mm、156mm×156mm太阳能电池片工艺腔
体为石英或碳化硅
4.4恒温区长度1100mm/800mm/600mm/450mm
4.5晶圆装载悬臂式刚玉/碳化硅杆碳化硅桨
4.6工作台有净化/无净化
4.7工艺气路对应的工艺气路气路阀门组件采用国际优质品牌产品如SWAGELOK、PARK、
SANDVIK、CARDINAL等等MFC国际优质如MKS、UNIT、STEC等或国产优质
5、扩散炉主要技术参数
5.1工作温度2001300℃
5.2加热体控制点3/5点
5.3炉体恒温区450mm/600mm/800mm/1100mm
5.4恒温区精度800℃/±0.5℃ 800℃/±1℃
5.5单点温度稳定性6001300℃/ ±0.5℃/24h
5.6最大可控升温速度25℃/min
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扩散炉应用应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域
适用2~8英寸工艺尺寸
产品特点
◆主机为水平一至四管炉系统构架独立完成不同的工艺或相同工艺
◆工业计算机控制系统对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制
◆采用悬臂送片器操作方便、无摩擦污染等
◆关键部件均采用进口确保设备的高可靠性
◆工艺管路采用进口阀门管件组成气密性好、耐腐蚀、无污染管路均采用EP级电抛光管
路流量控制采用质量流量计MFC进口
◆控温精度高温区控温稳定性好
◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
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