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采用光学和非接触方法探测焦距的方法，测量不会给样品造成变形或划痕等影响，这些往往是采用物理性接触测量时产生的。基于目标分光方法原理的精密聚焦指示器的应用，以简单地把两个目标标志部分重合起来进行高精度的测量..
◎ 高精度的图像自动聚焦系统的测量结果和精确度是很可靠的，没有人为的因素。
◎ 通过电脑控制，可以完成多点的自动连续测量，高级的资料处理软体可以极大的提高测量时间。
功能：
非接触测量微细的撞击、台阶等。
◎ 通过高精度的光学聚焦点检测和精确的聚 焦指示器完成高精确的测量
◎ 简单的操作
◎ Z轴测量行程可从几个μm 到10mm
◎ 同时还可以完成测量点的表面观察
观 测 头： 三目
Z轴测量范围： 0.1μm 读数，10mm 行程
Z轴测量精度： 3σ=1μm (40×)
光学镜身： 精确的自动聚焦单元
物 镜： 5× - 100×
测量软体： 4种模式
资料处理软体： 显示最大值，最小值，平均值，标准偏差值等
