EasyCoater 4小型匀胶机_半自动匀胶机_涂胶设备_半导体加工设备_设备馆

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品牌：Schwan technology

型号：EasyCoater 4

EasyCoater 4匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。

　　EZ4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳，PP材料内腔，经久耐用。

◆ 结构紧凑

EZ4外型尺寸为：210(W)*250(D)*200(H)，特别适合放于手套箱内操作。最大可旋涂4寸圆晶的底物。

◆ 简单易用

文本显示屏，界面简单易用，清晰的功能按键，方便灵活操作。

◆ 程控操作

可提供单步或多步编程旋涂工艺运行，最多可运行5步不同转速及加速度的旋涂程序。

◆ 性能稳定

工业级直流马达，单片机控制，转轴旋转稳定，重复性好。

◆ 设计新颖

全铝合金外壳，阳极氧化铝耐腐蚀机身。全PP注塑耐腐蚀易清洁旋转腔，PC耐腐蚀透明盖。

产品参数说明：

 ●PP耐腐蚀、易清洁注塑内腔，HDPE耐腐蚀真空吸盘

 ●阳极氧化铝耐腐蚀机身，美观耐用

 ●耐溶剂性PC透明盖子，恒定扭矩定位功能

 ●文本显示器，按键控制

 ●75W直流无刷电机，单片机控制

 ●可处理碎片（小于1cm）至6英寸圆晶底物

 ●转速可控范围：100-10000RPM，转速分辨率：1RPM

 ●加速度可控范围：100-10000RPM/S

 ●可进行多步程序运行，最多编辑运行5步程序

●宽输入电压适用：AC100-230V输入

产品外形尺寸：

外形尺寸：210 (W) * 250 (D) * 204 (H)

产品附件选择：

　◆ 标配四只真空载物盘（3/16”,1/2”,1”&2.25”），适于碎片至4寸圆晶的处理

　◆ 定制载物盘可选，根据基片尺寸和要求可提供嵌入式或档杆式载物盘设计加工

　◆ 用于薄膜基片可提供定制微孔真空载物盘

　◆ 无油真空泵（抽气量15L/min以上）或真空发生器可选