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4001027270
l 制程参数皆采用可设定、修改、记忆制程模式；
l 操作模式可分为自动/手动/编辑/维修。
l 配有独立配电箱，电路区进行功能分块，强电、弱电块，以便于维护；
l 具Password功能以避免操作人员误改参数：
Password-1.启动及可进入自动模式內容。
Password-2可进入编辑模式修改制程参数。
Password-3可进入手动模式。
5.安全保护
l 设备采用耐腐蚀导线并通过氟套管进行保护，防腐防水；
l 设有防漏电断路保护装置；
l 电控部分正压空体保护，防水防腐；
l 设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；
l EMO 装置紧急按钮开关；
l 蜂鸣器声鸣提示工作完成，三色报警灯及蜂鸣声光故障报警；
l 机台底部设有防漏盘及漏液感知；
l 液位异常感知/安全液位保护；
加熱保护