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l 骨架:优质不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐焊接而成;
l 外壳:德国进口10mm瓷白PP板热焊接而成;
l 防护门:正面操作侧采用透明上下推拉门;
l 管路:管路位于机台下后部,以节省空间,采用英制接口;
l 药液回收区位于设备左后下部;
l 设备2#与3#处有活动推拉挡板;
l 排风:根据流体学原理设计位于机台后上部,并配有导流和风量调节装置;
l 工作照明:机台上方配照明(与工作区隔离);
l DI/N2 GUN:可伸缩的N2 Gun和DI水枪各把,置于右侧;
l 台面板为德国10mm PP板(带有漏液孔);
l 人机界面:Touch Screen彩色界面;
l 支脚:有滑轮装置和固定装置,可调整高度和锁定;
4.控制系統
l PLC可程式控制器(欧姆龙)+Touch Screen彩色人机界面操作。
l 制程参数皆采用可设定、修改、记忆制程模式;
l 操作模式可分为自动/手动/编辑/维修。
l 配有独立配电箱,电路区进行功能分块,强电、弱电块,以便于维护;
l 具Password功能以避免操作人员误改参数:
Password-1.启动及可进入自动模式內容。
Password-2可进入手动模式。
Password-3可进入编辑模式修改制程参数。
5.安全保护
l 设备采用耐腐蚀导线并通过PE管进行保护,防腐防水;
l 设有防漏电断路保护装置;
l 电控部分正压空体保护,防水防腐;
l 设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统;
l 药液回收区配有独立抽风,和底部滑动滚轮,便于拿放回收桶;
l EMO 装置紧急按钮开关;
l 蜂鸣器声鸣提示工作完成,三色报警灯及蜂鸣声光故障报警;
l 机台底部设有防漏盘及漏液感知;
l 液位异常感知/安全液位保护;
l 配有加熱保护;
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