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    专业生产制备金刚石镀膜,石墨烯等设备微波化学气相沉积系统NBD-PECVD1200-80ITD2ZY

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-镀膜设备-PECVD

    规格型号:

    微波化学气相沉积系统NBD-PECVD1200-80ITD2ZY

    发货期限:

    30-40个工作日天

    库       存:

    2

    产       地:

    中国-河南省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:微波化学气相沉积系统NBD-PECVD1200-80ITD2ZY

    所属系列:半导体加工设备-镀膜设备-PECVD

     设备一体化操作,式样的清洗,镀膜一气呵成,避免了二次污染,射频功率连续可调,智能触摸屏人性化操作,全数字化真空测量与检测系统,摈弃繁琐的按键操作,使操作设备更为简单。客户只需设置简单的工艺参数,就可实现全自动完成等离子清洗过程,及清洗过以后的增强化学气相沉积的工艺要求。具体可以来电咨询:0371-63202805,欢迎您来咨询。

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    提问:
     

    工作室尺寸如何?气体排放有处理吗?

    wole  2017-07-28

     您好:
    1、该设备所使用的炉管尺寸为Φ80*1200mm,加热温区尺寸为Φ80*200mm;
    2、废气均通过真空泵抽出,在真空泵排气端加装气管接头,可直接排至室外,如通入有氢气可在出气端加装点火装置;
    欢迎您来电咨询!李瑞华18838290749

    2017-07-28

    请问你这个型号的机器功率多大?是自动的吧?

    gfty  2017-07-12

     您好,感谢您对我们的关注。此设备的最大功率不超过4KW,设备是自动控制的,但相关工艺参数均需手动设置,此设备主要针对于材料制备研究阶段。如果您有兴趣,请留一下联系方式及邮箱,我给您发一份设备相关资料供您参考,感谢。或请拨打电话18838290749(小李)咨询了解。

    2017-07-12

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