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    Prep-2型 等离子清洗机

    应用于半导体行业:

    真空等离子清洗机

    产品品牌

    Diener

    运费说明:

    包邮

    库       存:

    1

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:Diener

    型号:

    所属系列:真空等离子清洗机


    Prep-2型 等离子清洗机;
    * 真空舱体(等离子反应舱): Φ100mm × L270 mm 水平 (2 升)
    * 舱体容量:约2升
    * 不锈钢舱体  
    * 射频发生器频率 : 40KHZ,13.56MHZ, 2.45GHZ 可选
    * 高效针孔电极 
    * 铜气体管、气体流量计、针阀
    * 使用气体流量计和针阀控制气体
    * 自动计时器控制等离子处理过程 
    * 控制系统:半/全自动控制 ,电脑控制,液晶触摸屏控制
    * 功率连续可调 0-100W
    * 自动阻抗匹配
    * 自由设置参数:处理时间、功率、气体
    * 安全保护功能:真空触发、舱门锁
    * 电磁阀保护,回流油雾不能进入舱体
    * 外形尺寸:W345 mm×H220 mm× D420 mm
    * 电源:AC 220V/50Hz 
    * 真空泵:莱宝Leybold Type S1.5(1.5m3/h)
    选装件* 13.56 MHz 射频发生器   * 2.45 GHz 射频发生器  * 硅酸盐舱体(外置环形电极)或石英舱体

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