精密气浮运动平台具有高精度、无摩擦、低污染等特点，在光刻技术、超精密加工、生物检测技术、纳米表面形貌测量等领域具有广泛的应用，是各种领域中精密加工和精密检测设备中的重要部件。近年来微电子技术、信息技术及生物工程等新兴科技领域的发展。精密气浮平台最终可达到较高的定位精度和同步精度。静压气浮轴承的主动控制技术及其在精密气浮平台中的应用。采用主动控制技术调节气浮轴承的供气压力控制气体薄膜的厚度。由此设计了一种静压气体薄膜驱动的微动平台。将主动控制技术应用于平面精密气浮运动平台，可以使工作台在XY平面运动之外，具备Z方向的微行程精密运动能力。通过主动控制可对工作台Z方向的位置误差进行补偿，同时也可以实现工作台在Z方向的精密定位。
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