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    等离子清洗机、刻蚀机、去胶机

    应用于半导体行业:

    真空等离子清洗机

    库       存:

    111

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    7777.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:真空等离子清洗机

     

    详细介绍

    >> 产品特点 
       滚筒式等离子处理系统,由触摸电脑+PLC多步流程全自动控制,全电路检测,用于颗粒状材料清洗、刻蚀、活化、接枝处理,动态旋转,处理均匀,无死角,可选择中频、射频、微波等离子处理模式。
    >> 技术参数
     ◆ 外形尺寸(不包括报警灯)
        1903(W)×980(D)×2075(H)mm
     ◆ 仓体结构(合金铝,约150升)
        500(W)×500(D)×600(H)mm
     ◆ 滚筒直径
        400mm X450mm
     ◆ 等离子发生器(美国MKS)
        频率13.56MHZ,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
     ◆ 控制系统
        触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
     ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
        日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S) x2台(可选配爱德华干泵)    
        台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管,德国英福康高精度真空计,传感器
     ◆ 充气系统
        美国MKS高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
        美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀
        日本SMC及CKD高真空气阀组件 

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