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1. 外形尺寸： 2" 3" 4" 5" 6" 8" 12"
1.1 直径: 50~300mm
1.2 厚度: ***薄100um, 其他按国际标准
1.3 TTV: ≤3um ≤5um ≤10um
1.4 研磨片，单抛片，双抛片
2. 技术参数：
2.1 导电参数: N 型、P型、本征（不掺杂）
2.2 电阻率: 重掺0.001 ohm.cm 低掺1~10ohm.cn 本征高阻 >10000 ohm.cm或按客户要求加工
2.3 表面: 单抛 双抛 热氧化 氮化 镀金 镀铂
2.4 晶向: （100）（111）（110）
2.5 硅纯度: > 11N
2.6 晶向偏差:〈100〉± 0.50；〈110〉± 0.50；〈111〉± 0.50
2.7 真空无尘 : ≤30@20um
