产品特性:
硅晶圆研磨砂轮:该系列产品包括树脂结合剂和陶瓷结合剂两类,陶瓷结合剂砂轮主要用于粗磨加工,树脂结合剂砂轮主要用于精磨加工。
碳化硅晶圆研磨砂轮:产品由高刚性铝合金基座和自制特殊陶瓷结合剂金刚石刀头组成,具有高自锐性、高锋利性、高稳定性等优良特性,特别适合高硬度SIC晶圆的减薄加工。
加工对象:
硅晶圆研磨砂轮:分立器件、集成电路衬底硅片及原始硅片等。
碳化硅晶圆研磨砂轮:SIC晶圆。
技术特征:
硅晶圆研磨砂轮:
· 采用高刚性的陶瓷结合剂与大粒度磨粒相结合,适用于粗研磨加工。
·多孔的容屑和冷却作用,改善磨削条件,提高工件磨削质量、磨削效率。
·采用树脂结合剂,适用于Si晶圆的精磨加工。
·结合剂富有弹性,大幅度降低对晶圆的损伤;良好的自锐性和研削能力,改善了工件厚度精度,提升眼膜去除率。
碳化硅晶圆研磨砂轮:
· 有气孔陶瓷结合剂实现高研削性能。
· 结合剂的软硬可做细微调整。
· 超细的金刚石磨粒,可获得低损伤和低表面粗糙度的晶圆。
· 多种粒度选择,可以满足粗磨、精磨的加工要求。
订购建议:
订购产品时,请提供产品型号、规格、尺寸、数量以及切割的产品及切割条件等信息,我们将全力协助您选择合适的产品。
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产品特性:
硅晶圆研磨砂轮:该系列产品包括树脂结合剂和陶瓷结合剂两类,陶瓷结合剂砂轮主要用于粗磨加工,树脂结合剂砂轮主要用于精磨加工。
碳化硅晶圆研磨砂轮:产品由高刚性铝合金基座和自制特殊陶瓷结合剂金刚石刀头组成,具有高自锐性、高锋利性、高稳定性等优良特性,特别适合高硬度SIC晶圆的减薄加工。
加工对象:
硅晶圆研磨砂轮:分立器件、集成电路衬底硅片及原始硅片等。
碳化硅晶圆研磨砂轮:SIC晶圆。
技术特征:
硅晶圆研磨砂轮:
· 采用高刚性的陶瓷结合剂与大粒度磨粒相结合,适用于粗研磨加工。
·多孔的容屑和冷却作用,改善磨削条件,提高工件磨削质量、磨削效率。
·采用树脂结合剂,适用于Si晶圆的精磨加工。
·结合剂富有弹性,大幅度降低对晶圆的损伤;良好的自锐性和研削能力,改善了工件厚度精度,提升眼膜去除率。
碳化硅晶圆研磨砂轮:
· 有气孔陶瓷结合剂实现高研削性能。
· 结合剂的软硬可做细微调整。
· 超细的金刚石磨粒,可获得低损伤和低表面粗糙度的晶圆。
· 多种粒度选择,可以满足粗磨、精磨的加工要求。