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SUSS光刻机用曝光灯HBO 200W/DC 系列
SUSS光刻机用曝光灯HBO 200W/DC 系列
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| 详细介绍 |
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SUSS MicroTecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机，目前得到业界的广泛认同，该系列光刻机曝光系统的曝光灯，主要是由德国欧司朗公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列，具备良好的光通量，稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前供苏斯光刻机配套的相关参数如下：
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography
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Lamps for SÜSS Equipment
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Lamp type
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Max life[h]
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Equipment(适用机型）
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HBO 200W/DC
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1000
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MJB3,MJB4
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HBO 350W/S
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600
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MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500
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HBO 1000W/D
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1000
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MA150,MA200,MA4,MA6,MA8
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HBO 5000W/S
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1000
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MA300
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以下是欧司朗曝光灯的技术参数：
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