包邮
关注:523
SUSS 苏斯光刻机用曝光灯HBO 200W/DC
SUSS光刻机用曝光灯HBO 200W/DC 系列
|
详细介绍 |
SUSS MicroTecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机,目前得到业界的广泛认同,该系列光刻机曝光系统的曝光灯,主要是由德国欧司朗公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列,具备良好的光通量,稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前供苏斯光刻机配套的相关参数如下:
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography
Lamps for SÜSS Equipment
|
Lamp type
|
Max life[h]
|
Equipment(适用机型)
|
HBO 200W/DC
|
1000
|
MJB3,MJB4
|
HBO 350W/S
|
600
|
MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500
|
HBO 1000W/D
|
1000
|
MA150,MA200,MA4,MA6,MA8
|
HBO 5000W/S
|
1000
|
MA300
|
以下是欧司朗曝光灯的技术参数:
|
|
|
|
咨询