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项目 |
二极管/三极管级单晶硅片 |
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直径（英寸） |
3〞 |
4〞 |
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生长方式 |
CZ |
CZ |
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导电类型 |
N |
N |
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掺杂剂 |
磷P |
磷P |
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晶向 |
<111> |
<111> |
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电阻率（Ω.㎝） |
1—80 |
1—80 |
|
电阻率径向不匀称性 |
≦20% |
≦20% |
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直径（mm） |
76.2±0.3 |
100±0.5 |
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少子寿命（μs） |
≧100 |
≧100 |
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硅片形态 |
研磨片/线切片 |
研磨片/线切片 |
