刻蚀设备O型圈是深硅刻蚀设备的常规耗材
详细描述:O型密封圈
O型圈(O-rings)是一种截面为圆形的橡胶密封圈,是深硅刻蚀设备的常规耗材。
可以用在刻蚀设备的传送腔,刻蚀腔内。
O型密封圈与其他型式密封圈比较,具有以下优点:
--适合多种密封形式:静态密封、动态密封
适合各种用途材料,尺寸和沟槽都已标准化,互换性强
--适合多种运动方式:旋转运动、轴向往复运动或组合运动(例如旋转往复组合运动)
--适合多种不同的密封介质:油、水、气、化学介质或其它混合介质
--设计简单,结构小巧,装拆方便
O 形圈断面结构极其简单,且有自密封作用,密封性能可靠。
由于 O 形圈本身及安装部位结构都极其简单,且已形成标准化,因此安装更换都非常容易。
--材料品种多
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