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产品说明 | 四氟化碳,又称为四氟甲烷、Freon-14及R 14,是一种卤代烃(化学式:CF4)。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。 |
产品用途 | 用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂。 |
注意事项 | 吸入四氟化碳的后果与浓度有关,包括头痛、恶心、头昏眼花及心血管系统的破坏(主要是心脏)。长时间接触会导致严重的心脏破坏。 四氟化碳的密度比较高,可以填满地面空间范围,在不通风的地方会导致窒息。 |
应用行业 | 半导体、太阳能、金属冶炼和塑料行业等 |
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