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11.氟化物靶材：氟化钆靶材GdF、氟化钇靶材YF、氟化镧靶材LaF、氟化镱靶材YbF、氟化铒靶材ErF、氟化钬靶材HoF、氟化铈靶材CeF、氟化铽靶材TbF、氟化铕靶材EuF、氟化镨靶材PrF、氟化钐SmF、氟化撸靶材LuF、氟化镝靶材DyF、氟化钕靶材NdF、氟化钪靶材ScF、氟化镁靶材MgF、氟化钡靶材BaF、氟化纳靶材NaF、氟化铝靶材AlF、氟化钛靶材TiF.
12.硅化物靶材：硅化铝靶材AlSi、硅化铬靶材CrSi、硅化镍靶材NiSi、硅化钨靶材WSi、硅化铪靶材HfSi、硅化锆靶材ZrSi、硅化铌靶材NbSi、硅化钒靶材VSi、硅化锰靶材MnSi、硅化钼靶材MoSi、硅化镁靶材MgSi、硅化钛靶材TiSi、硅化铁靶材FeSi、硅化钙靶材CaSi.
13.特种复合物陶瓷靶材：氧化锌铝靶材AZO、氧化铟锡靶材ITO、钛酸钡靶材BaTiO3、钛酸锶靶材SrTiO3、钛酸锶钡靶材BaSrTiO3、铁酸镥靶材LuFeO3、钛酸镨靶材PrTiO3、钛酸铅靶材PbTiO3、锆酸铅靶材PbZrO2、锆钛酸铅靶材PbZrTiO3、铁酸铋靶材BiFeO3、钌酸锶靶材SrRuO3、铌酸锂靶材LiNbO3、钽酸锂靶材LiTaO3、铁酸铋镥靶材LuBiFeO3、铋酸钡靶材BaBiO3、钴酸钡靶材BaCoO3、铜酸钡靶材BaCuO2、铁酸钡靶材BaFe12O19、锰酸钡靶材BaMnO3、铬酸铋靶材BiCrO3、钐酸铋靶材BixSm(1-x)O3、铜酸钙靶材CaCuO2、锰酸钙靶材CaMnO3、钛酸钙靶材CaTiO3、铁酸钴靶材CoFe2O4、镝钡铜氧靶材DyBa2Cu3O7、钬钡铜氧靶材HoBa2Cu3O7，钇钡铜氧靶材Y Ba2Cu3O7，钴酸铒靶材ErCoO3、镓钡铜氧靶材GaBa2Cu3O7、铬酸钆靶材GdCrO3、钪酸钆靶材GdScO3、铜酸镧靶材，La2CuO4、锆酸镧靶材La2Zr2O7、铝酸镧材LaAlO3、钴酸镧靶材LaCoO3、铬酸镧靶材LaCrO3、铁酸镧靶材LaFeO3、锰酸镧靶材LaMnO3、镍酸镧靶材LaNiO3、镧钡钴氧靶材LaxBa(1-x)CoO3、镧钙钴氧靶材LaxCa(1-x)CoO3、镧钙钴氧靶材LaxCa(1-x)MnO3、镧钙锰氧靶材LaxSr(1-x)CoO3、镧锶锰氧靶材LaxSr(1-x)CoO3、镧锶铁氧靶材LaxSr(1-x)FeO3、镧锶钛氧靶材LaxSr(1-x)TiO3、镧锶铜氧靶材LaxSr(2-x)CuO4、锰酸镥靶材LuMnO3、铜酸钕靶材Nd2CuO4、钕钡铜氧靶材NdBa2Cu3O7、铁酸镍靶材NiFe2O4、锆钛酸铅靶材PbZrxTi(1-x)O3、镨钡铜氧靶材PrBa2Cu3O7、钴酸镨靶材PrCoO3、镨钙锰氧靶材PrxCa(1-x)MnO3、锰酸钪靶材ScMnO3、钐钡铜氧靶材SmBa2Cu3O7、钪酸钐靶材SmScO3、钴酸锶靶材SrCoO3、铜酸锶靶材SrCuO2、铁酸锶靶材SrFe12O19、锰酸锶靶材SrMnO3、铁酸钇靶材Y3Fe5O12、铝酸钇靶材、镱锰氧靶材YbMnO3等。
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