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    2 3寸单抛双抛硅片N型P型镀膜外延衬底测试基底红外辐射科研专用

    应用于半导体行业:

    半导体原材料-晶片—衬底类-硅衬底

    库       存:

    99999

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

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    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体原材料-晶片—衬底类-硅衬底


         3英寸  IC级半导体硅片(Prime/Test grade) 

      

            用       途

    同步辐射样品载体、PVD/CVD镀膜做衬底、磁控溅射生长样品、XRD、SEM、原子力、红外光谱、荧光光谱等分析测试基底、分子束外延生长的基底、X射线分析晶体、半导体光刻.

            产品尺寸

    76mm/3" 

            表面处理

    SSP单面抛光、DSP双面抛光、Lapping双面研磨、SiO2/EPI/SOI 

    (具体要求详谈)

            生长方式 

    CZ直拉、FZ区熔  (具体要求详谈)   

            厚       度 

    100-1000μm   (具体要求详谈)

            掺杂类型

    P /硼 、N/砷、磷、锑   (具体要求详谈)

            晶       向

    <111>/<100>   (具体要求详谈)

            电  阻  率

    0.0001-10000(Ω·cm)  (具体要求详谈)

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