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电子级氢氟酸(HF)

应用于半导体行业：

半导体原材料-化学品-酸碱类

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产地：

中国-上海市

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品牌：

型号：

所属系列：半导体原材料-化学品-酸碱类

氢氟酸（HF）

电子级氢氟酸(HF)

CAS：7664-39-3 EINECS：231-634-8 NIOSH/RTECS：MW7875000

UN：1790 危险品等级： 8

分子式：HF 分子量：20.01

含量：49±0.2% 包装：200L清洁桶或依客户要求

用途：在电子工业中用作强酸性腐蚀剂，主要用于集成电路制造工艺中硅片清洗、

腐蚀工序，可与硝酸、乙酸、氨水和双氧水配合使用

检测项目	标准
总酸度(以HF计)	49±0.2%
色度（Hazen）	≤10
氟硅酸(H₂SiF₆)	≤10 ppm
氯化物(Cl^-)	≤200 ppb
硝酸盐(NO₃^-)	≤100 ppb
磷酸盐(PO₄^3-)	≤100 ppb
硫酸盐(SO₄^2-)	≤200 ppb
锂(Li)	≤1 ppb
钠(Na)	≤1 ppb
镁(Mg)	≤1 ppb
铝(Al)	≤1 ppb
钾(K)	≤1 ppb
钙(Ca)	≤1 ppb
铬(Cr)	≤1 ppb
锰(Mn)	≤1 ppb
铁(Fe)	≤1 ppb
钴(Co)	≤1 ppb
镍(Ni)	≤1 ppb
铜(Cu)	≤1 ppb
锌(Zn)	≤1 ppb
钼(Mo)	≤1 ppb
银(Ag)	≤1 ppb
镉(Cd)	≤1 ppb
铅(Pb)	≤1 ppb
颗粒	≥0.5μm,≤5个/ml

备注：上表是49%电子级氢氟酸产品规格单, 可根据客户需求定制特殊规格产

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