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包邮关注:942

四甲基氢氧化铵（TMAH）

应用于半导体行业：

半导体原材料-化学品-腐蚀剂

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产地：

中国-上海市

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品牌：

型号：

所属系列：半导体原材料-化学品-腐蚀剂

四甲基氢氧化铵（TMAH）

四甲基氢氧化铵（TMAH）

CAS：75-59-2 EINECS：200-882-9 NIOSH/RTECS：PA0875000

UN号：1835 危险品等级：8

分子式：(CH₃)₄NOH 分子量：91.15

含量：电子级2.38%, 20%, 25％；工业级25%等

包装：ISOtank/1000L/200L清洁桶或依客户要求

用途: 用于电子行业中硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等

检测项目	标准
含量(%）	25.0±0.1%
CO3^2-(Carbonate)	≤100ppm
Cl^- (Chloride)	≤100ppb
甲醇残留	≤40ppm
锂Li	＜ 5 ppb
钠Na	＜ 10 ppb
镁Mg	＜ 5 ppb
铝Al	＜ 10 ppb
钾K	＜ 10 ppb
钙Ca	＜ 10 ppb
铬Cr	＜ 5 ppb
锰Mn	＜ 5 ppb
铁Fe	＜ 5 ppb
镍Ni	＜ 5 ppb
钴Co	＜ 5 ppb
铜Cu	＜ 5 ppb
锌Zn	＜ 5 ppb
钼Mo	＜ 5 ppb
镉Cd	＜ 5 ppb
铅Pb	＜ 5 ppb
银Ag	＜ 5 ppb
粒子Particles (≧ 0.5 um)	＜100 pieces/ml
形态	液体
沸点(^oC）	100.0
凝固点(^oC）	<-25.0
粘性25^oC,cst	2.8
比重@ 60^oF	1.022
闪点(^oF）	>200
pH	>13

备注：上表是25％TMAH产品规格单格单, 可根据客户需求定制特殊规格产品。

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