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    蓝宝石炉铜电极

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备耗材-炉类设备耗材

    产品品牌

    诚宇

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    客服电话:4001027270

    品牌:诚宇

    型号:

    所属系列:半导体加工设备耗材-炉类设备耗材

     蓝宝石炉铜电极(走水电极、长晶炉主导电体)

    是蓝宝石长晶真空炉的重要部件之一,是炉内加热热场与炉外电源的连接通道;在炉内与热场(鸟笼)直接搭接,延伸到炉外的导电柱通过导电夹、软连接与电源柜连接。

    该部件的结构复杂,精度要求高,加工难度较大,主要体现在:

    1)导电柱与炉盖的结合:

    导电电极是在蓝宝石长晶真空炉膛内,要穿过炉盖与外部电源连接,所以电极4个导电柱之间的公差要求非常严格,要和炉盖上的4个孔位距离完全一致。如有误差将不能装配。

    2)导电电极在加工过程中变形的问题:

    电极是纯铜原料加工而成,从原材料到成品,要经过很多道工序,每道工序都会产生应力,故容易变形。尤其是在最后的焊接工序,因为焊接过程产生的热量会使应力释放,工件很可能会严重变形,精加工的所有公差尺寸都会受到影响,且无法调整。

    3)电极冷却水的走水密封:

    电极的截流能力远大于导电要求,故导电电极自身不会发热,但真空长晶炉内虽有隔热装置还有较高的温度传导到电极。加热热场的电热丝通过导电环会直接把热量传导到电极。所以电极必须要通水冷却来保证电极的正常工作,真空长晶炉是高温高真空的工作环境才能有效长出晶体。故对电极的主体与导电柱、走水槽封板、工艺孔堵头部分的焊接有非常严格的要求。既不能因焊接降低导电率,又绝对不能有任何细微的渗漏,否则就达不到真空要求,长不出晶体。

    我们通过与众多科研单位的密切合作,参考多家国外公司先进产品的成功经验,利用国内外的先进设备,攻破了各个环节上的技术难题,成功开发出了最新蓝宝石长晶炉专用无焊缝式铜电极减少了焊接带来的形变及其走水通道的优化,降低焊缝带来漏水的风险。

    每件产品出厂必须通过正压、负压、导电率等各项指标的严格检验。多年来,通过多家蓝宝石长晶炉生产厂家使用,在业界获得一致好评

     蓝宝石炉无焊缝铜电极的加工工艺:
      ①开模冷轧蓝宝石炉铜电极毛坯及水路;
         ②精加工蓝宝石炉铜电极毛坯;
         ③加工中心加工蓝宝石炉铜电极进出水孔及各连接孔;

      ④蓝宝石炉铜电极形位尺寸精加工;

     ⑤焊接蓝宝石炉铜电极两头及电极杆;

         ⑥蓝宝石炉铜电极漏水试验;

      ⑦蓝宝石炉铜电极表面钝化处理;

      ⑧蓝宝石炉铜电极二次漏水试验;

         ⑨蓝宝石炉铜电极合格成品木箱包装出厂。

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