晶体的质量和寿命不仅影响速率和厚度测量的准确性,更重要的是还决定着受控制的过程能否成功完成。INFICON 石英晶振片具有经过实践验证的卓越品质和可靠性,其在各种材料、应用和行业中的无数次成功的过程运行充分证明了这一点。
我们的 6 MHz 晶体可与所有 INFICON 控制器和监控器结合使用。而 5 MHz 晶体只能与 5MHz 仪器结合使用;与有些 INFICON 仪器并不兼容。6 MHz 和 5 MHz 晶体具有金、银或合金三种电极并根据您的需要采用各种包装。
INFICON 洁净室石英晶体包装便于将晶体从包装直接分发到传感器,从而最大限度地减少操作员处理工作,降低污染风险。为使晶体包装更能满足洁净室的要求,我们取消了纸张和泡棉,而且包装可以堆叠,便于储存。