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公司进口设备事业部,为国内客户提供半导体行业高端进口设备一体化服务。
公司汇聚了众多相关行业、领域的高级管理和技术人才,具有自主研发、设计和制造高端工艺设备的能力。长期与大专院校、研究院、用户企业等相关单位建立开放式技术合作,旨在不断解决高端工艺制备领域不断变化的市场需求、不断突破国外厂家长期以来形成的技术壁垒。以灵活、创新的合作模式,打造高效的技术研发平台,不断提升产品核心技术。
主营产品:砷化镓、锗(VGF法)等材料的单晶生长系统;蓝宝石(泡生法)单晶生长系统;高温扩散/氧化/退火系统;等离子刻蚀/清洗系统;原子层沉积(ALD)系统等专用高端工艺设备及辅助设备。
进口设备主要产品:光刻机、APCVD、扩散炉、PECVD、溅射台、蒸发台、离子注入机、刻蚀机等高端进口设备的翻新及技术服务;KLA-Tencor、Therma-Wave、Rudolph、Hitachi、Accent/Bio-Ray等品牌的检测设备。