广东省半导体产业技术研究院

我院介绍

  广东省半导体产业技术研究院是直属于广东省科学院的23个骨干科研院所之一，是中国有色金属学会宽禁带半导体专业委员会的挂靠单位，拥有固态紫外光源工程技术研究中心、宽禁带半导体材料与器件创新中心、车规级功率电子器件可靠性检测与认证中心等多个省市级平台。本院主要面向半导体照明创新应用、功率电子器件、新型显示、先进封装、机械视觉与人工智能等领域，聚焦半导体产业发展亟需的应用基础研究和产业化应用技术研发，着力打造成为推动节能环保、信息技术领域创新驱动发展的枢纽型高端平台。
       本院拥有5000平方米的研发基地（其中超净实验室800平方米），拥有MOCVD、真空镀膜机等120多台/套关键设备，设备总价值逾1亿元。目前已建立材料外延、微纳加工、封装应用、分析测试四大科研平台，是国内少数拥有完整半导体工艺链的研究平台之一，研发实力雄厚，每年为逾百家企业/高校/研究院提供半导体工艺技术服务。

平台介绍

广东省半导体产业技术研究院微纳加工平台，拥有半导体器件制备工艺研发所需的整套仪器设备，建立了一条实验室研发线和一条中试线，加工尺寸覆盖2-6英寸。微纳加工平台面向国内外科研机构和企业提供全方位的开放服务，我们将对半导体材料与器件的深入研发给予全方位支持，为广大科研单位和企业提供高品质服务。