网站首页
公司介绍
 l清洗机设备制造商
l半导体零部件加工商
一 、公司简介
二 、业务范围
半导体清洗设备
主要加工设备
合作伙伴
工程塑料
三 、 核心技术
四 、 主要客户
五 、 社会责任
北京市京徽龙江科技有限公司成立于2005年，是一家专业研 究开发、生产、销售各种半导体清洗设备的高新技术企业。 公司现位于河北省三河市燕郊开发区，拥有一批高素质、高 水平、经验丰富的专业化技术人员。公司占地面积达6000多平方 米，现有职工40余名，其设计人员及技术工人10余名。公司于 2018年通过了ISO-9001质量管理体系认证，并获得各项信用等 级证书，被评为诚信经营示范单位。 公司以雄厚的技术力量，采用进口材料，配合先进的加工工 艺进行生产制造，为客户提供一套完善服务体系。主要生产槽式 湿法清洗/腐蚀设备，单片清洗设备，废气处理设备及其各种相关 配套设备。广泛应用于电子、 机械 、玻璃、化工等行业。 北京市京徽龙江科技有限公司 3
塑料焊接为公司的核心技术，PP、PVDF、PVC、NPP、PE等不 同材质的焊接采用不同的焊接方式 ，专业的焊接技术人员，并全部 取得了塑料焊接证书。公司10余年生产的设备均无焊接泄漏问题。 作为一个新型的高新技术企业,公司始终坚持“团结拼搏、自我 加压、争创一流”的企业精神,坚持“质量第一、信誉至上、行胜于言、 打造满意服务”的经营理念,使公司上下形成团结一致,拼搏奋进的良 好工作氛围,增强企业的凝聚力和向心力。 我们坚信“质量出效益,服务树形象”。 质量方针∶强化质量管理,持续提升产品质量，坚持优质服务,不断 满足用户需求。 我们本着以诚信为前提、质量为保证、顾客满意为焦点的经营宗 旨,愿与国内外朋友真诚合作，共创工业科技行业的明天！
1、半导体清洗设备
Ø 石英管／舟清洗机（卧/立式，全/半自动）
Ø 电镀清洗机设备
Ø 蓝宝石清洗机
Ø 硅片清洗机
Ø 硅片腐蚀机
Ø 蓝具、工装清洗机
Ø 超声波清洗机
Ø 显影机
Ø 甩干机
全自动石英棒清洗机
l 本设备适用于φ20—φ80的石英棒 的清洗。
l 酸槽、水洗槽、超声槽先后进行,工 艺流程可调，为浸泡式清洗,人工装、 取工件。
l 根据客户要求可同时清洗两种规格 的石英棒。
l 其结构主要由本体、清洗槽、溢流 快排槽、超声槽、机械臂、补液系 统、排风系统、给排水系统、及电 器部分等构成。
l 槽体配有N2鼓泡系统、超声系统， 节省药液的同时使之浸泡均匀。
石英管清洗机
l 本设备适用于2＂--8＂石英炉管的清洗, 同时也可清洗其它可放入清洗槽中的石 英器皿等被清洗物。
l 酸槽、水洗槽同先后进行,为滚动浸泡 式清洗,人工装、取工件。
l 根据客户要求可同时清洗两种规格的石 英炉管。
l 其结构主要由清洗槽、溢流排放槽、本 体、工件支撑及旋转驱动系统、排风系 统、给排水系统、及电器部分等构成。
l 槽体配有旋转驱动系统及N2鼓泡系统， 节省药液的同时使之浸泡均匀。
硅片清洗机
本机适用于2“-8”硅片清洗，整 机均采用纯天然聚丙烯（NPP德国进口） 材质焊接而成，本体前方安装有防护隔 离门，隔离门采用进口透明PVC板制成， 前门可以轻松开闭和高度任意限定，在 清洗过程中，隔离门关闭，以尽量改善 工作环境并减小对人体的伤害.其内部 结构组成：加热槽（均采用PVDF材料）、 QDR快排冲洗槽、冲洗水枪（PFA）、气 枪（PFA）、电气控制、废液排放及排 风系统等。工艺过程全自动，机械手在 槽间转换靠PLC来控制，美国进口导轨 和机械手来满足工艺时序整机耐酸性能 好，操作人性化，运行安全可靠，是半 导体生产线理想的硅片清洗设备。
北京市京徽龙江科技有限公司 15
硅片腐蚀机
本设备适用2“-8”于硅片的 腐蚀与清洗，整机均采用瓷白聚丙 烯（PP德国进口）材质焊接而成， 骨架为不锈钢（304）外包5㎜厚瓷 白板焊接而成，本设备为全自动硅 片腐蚀机。所有管路均为PFA材质， 加热腐蚀槽均为石英材料制作而成。
预清洗机
设备结构外形如下图所示，整机 主要由机架、工艺槽体、排风系统、电 控单元、水路系统及气路系统等组成 。
l 设备机架采用金属型材骨架，外包进口 PP板材组合焊接而成。
l 电气控制部分位于设备后上部，与湿区 隔离。操作区位于设备前方。
l 整机管路系统设置在设备后下方。
l 左侧独立部分为超声槽，由优质不锈钢 焊接而成，内配有超声装置，功率可调。
l 右侧为QDR槽，可独立使用，也可和超 声槽配套使用
l 每一套工艺槽都单独控制
全自动超声波清洗机
设备结构外形如下图所示，整机主要由机 架、工艺槽体、独立抛动装置、前置式机械手、 排风系统、电控单元、水路系统及气路系统等组 成 。
l 设备机架采用金属型材骨架，外包进口PP板材组 合焊接而成。
l 电气控制部分位于设备后上部，与湿区隔离。操 作区位于设备前方。
l 机械手设置在设备前下部，便于维护和保养。
l 整机管路系统设置在设备后下方。
l 药液槽由石英溢流槽、PP外壳、加热膜/加热管、 保温岩棉、排放口、泵、过滤器、储液槽、管路 和管件等组成。工作原理是泵将溶液从储液槽经 过过滤器从工艺槽底部注入，然后四面溢流后重 力流入储液槽中，形成循环，保证药液均匀性。
l 超声槽由优质不锈钢焊接而成，内配有超声装置， 功率可调。
l 独立抛动机构，气缸提升，升降速度可调节。
片盒清洗机
l 本设备主要用来去除半导体生产工艺中 使用的晶片片盒、储存盒、传送盒等晶 片载体表面的颗粒污染物。
l 设备结构外形如下图所示，整机主要由 机架、清洗腔，储液槽体、N2加热装置、 DI加热装置、排风系统、喷淋系统，药 液循环系统及电路系统等组成 。
l 设备机架采用金属型材骨架，外包进口 PP板材组合焊接而成。
l 电气控制部分位于设备后上部，与湿区 隔离。操作区位于设备前方。
l 整机加热循环系统设置在设备下方。
l 工件提篮采用304不锈钢焊接而成。
l 工艺区内可清洗干燥配套使用，也可单 独使用干燥系统。
甩干机
l FSG-16M2型旋转冲洗甩干机标配设备1 台(双腔),上下腔各配旋转载体1件
l 驱动单元采用专门订制的无刷电机驱动， 可靠实现在工作范围内的速度设定和控 制
l 洁净清洗腔体及花篮载体均采用最新的 激光焊接技术及优质不锈钢材料精加工
l 腔体加热功能是在清洗腔体顶部设置有 高性能加热“毯”,以便在最短时间内 将“水滴”气化，提高生产效率和防止 水滴再污染。
l 氮气温控组件实现对氮气的温度自动控 制,控制范围在80℃±5℃。
l 腔体与旋转电机轴之间采用无接触正压 洁净氮气密封，无污染泄漏。
Ø国产PVC、UPVC、PP、PE等板材加工
Ø进口PVC、PVDF、PP、CPVC等板材加工
Ø进口工程塑料板材、棒材、管材、型材的代理销售
快排水槽，容积约330L， 盛水试压>48h,无泄漏 现象。 设备使用至今，整机无 任何漏点
药液槽，PVDF槽体，容积约 400L，盛水试压>48h，无泄 漏现象。
中国电子科技集团公司第四十五研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十一研究所
中国电子科技集团公司第二研究所
云南蓝晶科技有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
北京清华大学物理研究所
吉林麦吉柯有限公司
晶科光电（北京）信息材料有限公司
青岛嘉星晶电科技股份有限公司
辽宁朝阳光伏科技有限公司
宁夏银星能源股份有限公司
吉林华微电子股份有限公司
中科晶电信息材料（北京）有限公司
河北同光晶体有限公司
天津三安光电有限公司
北京航天控制仪器研究所（航天13所）
艾默生（北京）公司
湘能华磊光电有限公司
北京中电科电子装备有限公司
天津华海清科机电科技有限公司
中国航天科技集团八院804研究所
北京有研亿金
华灿光电股份有限公司
北京中科院物理研究所
扬州杨杰电子股份有限公司
太原中北大学
青岛精诚华旗微电子设备有限公司
青岛华世洁环保科技有限公司
天津恒电空间电源有限公司（航天18所）
浙江康鹏半导体有限公司
联系人： 程翔）
手 机：18733329660 电 话： 010-61593153 传 真： 010-61593152
地址：河北省三河市燕郊开发区燕昌路欧森工业园204号 |
