上海微高精密机械工程有限公司

     上海微高精密机械工程有限公司由中国电子科技集团公司第45研究所与上海微电子装备有限公司于2003年在上海成立的合资公司。公司以中电集团第45研究所第一研究室技术团队为基础组建。45所第一研究室从“六五”起一直从事光刻机的研制开发工作，先后完成我国“六五”、“八五”、“九五”期间的1.5微米、0.8微米、0.5微米光刻机的研制任务，承担并完成了国家、部委各项光刻机相关的研制开发任务，为我国...