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北京信息科技大学传感技术研究中心
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我校实验室提供可靠性测试,MEMS加工服务: 可靠性测试:一、转台测试:角度角速度标定;振动台测试二、跌落冲击台(电子产品、机械部件的冲击测试)三、电动式振动台(产品整机或部件的振动测试)四、温度试验:温冲测试、高低温存储、湿热试验 生产加工:一、MEMS工艺(光刻、氧化、湿法刻蚀、等离子去胶等;二、喷涂光刻胶三、溅射镀膜(镀金、银、铜等)四、硅片干法刻蚀五、激光打标(金属、陶瓷、塑料部件打LOGO)六、平行缝焊(金属壳封盖);氦...
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