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青岛精诚华旗微电子设备有限公司
氧化扩散炉系列、LPCVD 系统、PECVD系统、HVPE系统、MOCVD系统、RTP快速热处理、气...
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青岛精诚华旗微电子设备有限公司(青岛华旗科技有限公司,建于1993年),为专业半导体工艺设备及先进材料专用设备研发制造厂家。致力于为半导体集成IC电路分立器件、MEMS、太阳能电池、半导体照明LED及磁性材料厂家提供先进的专用设备,工艺涵盖化合物半导体晶体生长(及提纯、合成等)、外延、薄膜淀积(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化扩散(包括退火合金含工艺及快速退火工艺等)、真空烧结等工艺。半导体...
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主营产品
氧化扩散炉系列、LPCVD 系统、PECVD系统、HVPE系统、MOCVD系统、RTP快速热处理、气瓶柜、半导体尾气(废)处理SCRUBBER,真空热处理炉、链式炉系列、扩散炉体系列等。
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青岛精诚华旗微电子设备有限公司
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青岛市城阳区双元路西(空港工业园内)
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