上海茂竺电子科技有限公司

上海茂竺（上海茂索）以高端技术产品和技术服务相辅并进的快速发展模式。为半导体、医药及生物芯片等行业提供厂务所必需的材料部件（隔膜阀、EP（BA）管道等）以及特殊气体设备[例如特气柜(GAS CABINET) 、阀门箱（VMB）]，化学品供应系统（例如CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX）。
上海茂竺（上海茂索）信奉以客户为中心的服务理念，提供设备安装及二次配管等一系列高纯系统的整体解决方案，具体内容覆盖了从方案设计到安装、测试等方面。茂竺电子通过控制项目的重复设计和建设，达到花费项目资金和周期的***小化。
我们主要服务于以下各行业：
高亮度发光二极管外延HB-LED： 主要工艺设备 MOCVD 光刻机等
有机发光二极管OLED: PECVD, 溅射台，蒸发台OLED台，OTFT台， 
太阳能电池：主要工艺设备 PECVD,SPUTTER等
硅外延：外延炉
微机电系统MEMS：主要工艺设备RIE，LPCVD，ICP，等离子清洗机，溅射机等
医药及生物芯片：
平面及等离子显示器：
化工：
其他材料薄膜制造设备：APCVD，LPCVD，MBE，HVPE等。
        特气设备及洁净部件（特气钢瓶柜、阀门箱）主要用于控制高纯特殊气体，又称电子特气，包括氢气H2、氮气N2、氧气O2、 氩气Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、氨气NH3、三氯一氢硅烷TCS、 氯气CL2、氯化氢气体HCL、三氯化硼BCL3、三甲基硼TMB、二氯二氢硅烷DCS等等多种气体或液化气体。